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          8. 產品詳情
            • 產品名稱:高溫超納米壓痕測試儀

            • 產品型號:UNHT3 HTV
            • 產品廠商:CSM
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            簡單介紹:
            高溫納米壓痕測試儀(高溫超納米壓痕測試儀)是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800°C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。高溫超納米壓痕測試儀(高溫納米壓痕測試儀)UNHT 技術與獨特的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。
            詳情介紹:

            高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

            儀器簡介:

            高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統,溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。專 利 UNHT 技術與獨特的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。

            主要特點:

            環境條件下低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內低熱漂移 (< 3 nm/min)

            高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合,可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。

            高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統,允許在測量期間關閉初級泵,使振動降至*低。

            獨特的加熱控制系統(3 項專 利待批),采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱,以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。

            符合 ISO 14577 ASTM E2546 國際標準

            技術指標:

            載荷

            *大載荷

            100 mN

            載荷分辨率

              6 nN

            本底噪音

              0.5 [rms] [μN]*

            位移

            *大位移

            100 μm

            位移分辨率

            0.003 nm

            本底噪音

            0.15 [rms] [nm]*

             

            極限真空度

            10? mBar

            *高溫度

            800 °C

            *理想實驗室條件下規定的本底噪音值,并使用減震臺。

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